国产光刻设备首秀进博：成像能力对标国际标杆

在第九届中国国际进口博览会上，上海微电子装备集团正式发布其自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800与SSB800（模型），首次集中亮相中国馆，成为展会焦点之一。

核心参数逼近国际水准，国产替代进程提速

据权威媒体披露，当前国产干式光刻机在图像清晰度、分辨率等关键成像指标上已实现与国际主流产品同频发展，套刻精度及单位时间产能亦持续向全球领先标准靠拢，彰显我国高端制造自主化进程的实质性进展。