中微半导体推出全球首款双反应台等离子体晶圆切割系统

中微半导体设备（上海）股份有限公司正式发布其自主研发的Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备，该产品首次实现双反应腔协同作业，显著提升切割效率与良品率。

首台设备完成交付，切入国内核心封测供应链

据悉，全球首台Primo Matrix设备已顺利运抵国内重要集成电路封装企业，进入安装调试阶段，标志着国产高端晶圆处理装备正式迈入规模化应用新阶段。